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2019.12.3(火)

荏原製作所
真空ポンプ高温均熱化構造に関わる特許で「発明協会会長賞」を受賞

荏原製作所(荏原、代表執行役社長浅見正男氏)は真空ポンプの高温均熱化構造に関わる特許により、公益社団法人発明協会が主催する令和元年度関東地方発明表彰の「発明協会会長賞」を受賞した。今回は同賞の他に発明奨励賞も6件受賞している。

半導体・液晶などの製造工程に用いられる同社のドライ真空ポンプにて、ポンプを高温均熱化することで固形物の生成を抑える技術が評価された。

公益社団法人発明協会 令和元年関東地方発明表彰(令和元年度関東地方発明表彰受賞者一覧)http://koueki.jiii.or.jp/hyosho/chihatsu/R1/jusho_kanto/index.html

【受賞内容一覧】
発明協会会長賞
  「真空ポンプ高温均熱化構造」
奨励賞(6件)
  「モータポンプ」
  「基板研磨押圧力制御装置」
  「給水装置」
  「増圧給水システム」
  「放射性ヨウ素吸着技術」
  「ユニットサイレンサ」

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