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2018.8.8(水)

不二越
DLC成膜用ハイブリッドイオンプレーティング装置を発売

不二越(東京都港区、社長薄田賢二氏)は、DLC(ダイヤモンドライクカーボン)成膜用ハイブリッドイオンプレーティング装置「SPS-2020」を8月に市場投入した。

今回発売した「SPS-2020」は、高品質かつ高速なDLC成膜を実現する。

同製品の特長は@ハイブリット成膜により成膜品質を向上=真空中で、イオンビームにより成膜物質をたたき出すスパッタリング法と、プラズマ中に成膜物質を含むガスを注入して成膜するP-CVD法を融合したハイブリット成膜技術により、硬さや膜厚などの成膜品質が向上A高速DLC成膜=大電流のHCD式プラズマガンを2基搭載し、高密度なイオンビームを照射して、イオン化率を上昇させることで、DLC成膜速度を従来機対比で約1・5倍まで向上させ、生産効率を改善B安定した成膜品質=独自のプラズマ制御技術と最適な機械構造により、装填されるワーク間での膜厚などのバラつきを抑え、安定した成膜品質を確保。

同社では、航空機分野、自動車分野、産業機械分野を中心に新製品の拡販に努める方針。
標準本体価(税別)は、1億2000万円、年間6台の販売を目標にしている。

問い合わせ先は、同社サーモテック事業部企画部(TEL:076-471-2981)

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