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2018.2.19(月)

オプテックス・エフエー
高精度レーザ変位センサに正反射タイプ・ショートレンジタイプを追加

CDXシリーズ(正反射タイプ)
オプテックス・エフエー(京都市下京区)は、高精度レーザ変位センサ「FASTUS CDXシリーズ」に、正反射タイプとショートレンジタイプを追加、3月上旬に発売する。標準価格は35万円(税別)。

同シリーズは、従来比2.7倍以上となるリニアリティを達成することで、非接触での超高精度測定を可能としたレーザ変位センサ。Ethernet通信機能とWEBサーバの搭載により、WEB上で簡単にセンサの測定値や設定を閲覧・制御できる。

今回追加した正反射タイプは、測定範囲15±1mmで分解能0.01μm。一方、ショートレンジタイプは測定範囲30±5mm(拡散反射設置時)で分解能0.05μm。いずれもスポットサイズφ30μmのスポットタイプと30×1000μmのワイドタイプをラインナップ。ショートレンジのワイドタイプは世界最高のリニアリティ±0.015%F.S.を達成し、測定誤差を最小限にした。

これらはガラスやウェハなど透明体・鏡面体の測定に最適で、フラットパネルディスプレイ(FPD)・半導体・電子部品業界をはじめ幅広い産業分野に対応する。

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