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2017.8.28(月)

荏原製作所
真空展で『空冷式ドライ真空ポンプ』展示

「VACUUM2017 真空展」(主催・日本真空工業会、日本真空学会)は9月6〜8日の3日間、「見えない力で魅せる真空。」をテーマにパシフィコ横浜にて開催される。

荏原製作所(代表執行役社長前田東一氏)は半導体産業における高度な精密製造技術で培った技術を活かし、空冷式ドライ真空ポンプを開発した。

従来のドライ真空ポンプでは水による冷却方式が一般的で、設置環境に制限があった。空冷式ドライ真空ポンプはファンによる空冷方式を採用、冷却水設備が不要で電源さえあれば使用可能。

またコンパクト・軽量設計で、持ち運びが容易で設置スペースも選ばずに真空環境を利用できる。企業・大学における研究利用等の活用にも最適なポンプ。

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